专业供应商高纯度铝靶材及铝合金靶材

高纯铝靶材

纯度：99.95-99.9995%；

铝旋转靶采用真空熔炼工艺，可生产Zui大长度4000mm，厚度根据客户要求定制。

铝平面靶采用真空熔炼工艺，可生产Zui大长度2500mm，Zui大宽度400mm，尺寸可根据客户要求加工。

应用领域：薄膜太阳能工业，低辐射玻璃工业，平板显示工业，光学镀膜工业，工具及装饰镀膜工业，芯片制造，先进封装。

产品优点：不纯物元素含量极低，导电性能好，光反射性能好，延展性好，耐腐蚀性能优良。

制作工艺：通过控制晶粒的生长形态的偏析法提纯工艺，用于高纯铝，超高纯铝的提纯。

适用仪器设备：多种型号磁控溅射、热蒸发、电子束蒸发设备。

铝钪合金靶材

钪含量（重量比）：8%──50%（按客户要求定制）

外形：圆形，方形（按客户要求定制）

尺寸：按客户要求定制

厚度：可按客户要求定制

铝铬靶材

关键词：铝铬靶材，铬铝硅靶材

铬铝合金靶材是在硬质合金刀具等工具及热处理模具镀膜领域应用的一类新型靶材，可提高膜层的抗磨损能力和膜层的使用温度。

我司提供的典型铬铝系列合金靶材包括：

Cr50% Al50%; Cr30% Al70%; Cr25%Al75%等。

我司的铬铝靶材采用先进的热等静压工艺生产，产品包括矩形靶、圆弧靶和大长径比整体成形管靶等类型，具有成分比例范围宽（铝含量为10at%~90at%）、纯度和密度高、晶粒细小均匀、使用寿命长等优点。铬铝靶材典型的成分比例有30:70at%、50:50at%等，也可按照客户要求定制Cr-Al-X（X=Si、Ti、Y、B、V）等特殊成分和规格靶材。

铬铝靶

Chromium-aluminum   target

性能

Product performance

化学成分/at%

Composition

Cr30Al70

Cr50Al50

纯度/%

Purity

99.8

密度/g/cm3

Density

≥3.73

≥4.55

晶粒度/μm

Grain size

≤100

金属杂质总和/ppm

Total content of   metallic impurities

≤2000

热导率/W/m.K

Thermal   conductivity

150

120

规格尺寸/mm

Size

平面靶

Planar   target

≤1500×500

旋转靶

Rotating target

热等静压整体成形

Integral formingby HIP

长度Length≤2000

厚度Thickness≤15

CrAl (40:60at%)

成分(elements)

铬(Cr)

铝（Al）

硅(Si)

铁（Fe）

铜(Cu)

锰（Mn)

碳(C)

硫（S）

氧(O)

氮(N)

测   试值（wt%)       （Test  values）

55.94

43.56

≤0.215

0.125

0.002

0.004

0.015

0.071

0.0026

密度（g/cm3）（Density)

4.15

CrAl (20:80at%)

32.45

67.34

0.051

0.142

/

0.029

0.124

0.032

3.35

CrAl (10:90wt%)

9.75

89.82

0.026

3.01

CrAl (15:85wt%)

14.75

84.82

2.98

CrAl (50:50at%)

65.68

34.14

0.025

0.062

0.009

0.0532

0.003

4.48

CrAl (80:20wt%)

79.75

19.81

0.126

0.014

3.1

钛铝靶材

关键词：钛铝靶材,钛铝合金管靶材, 钛铝靶材价格,铝钛靶材, 钛铝合金丝靶材

公司生产的钛铝靶材采用先进的真空热压、热等静压工艺生产，产品包括矩形靶、圆弧靶和大长径比整体成形管靶等类型，具有成分比例范围宽（铝含量为10at%~90at%）、纯度和密度高、晶粒细小均匀、使用寿命长等优点。钛铝靶材典型的成分比例有33:67at%、50:50at%、30:70at%、70:30at%、20:80at%、40:60at%、50:50at%等，也可按照客户要求定制Ti-Al-X（X=Si、Cr、Y、B、V）等特殊成分和规格的靶材。广泛应用于工具表面高硬质膜层镀膜

钛铝靶

Titanium-aluminum   target

性能

化学成分/at%

Ti33Al67

Ti50Al50       

Ti70Al30

纯度/%

99.8

99.8

99.8

密度/g/cm3

≥3.29

≥3.60

≥3.95

晶粒度/μm

≤100

≤100

≤100

金属杂质总和/ppm

≤2000

≤2000

≤2000

热导率/W/m.K

98

70

40

热膨胀系数/1/K

Coefficient of   thermal expansion

1.9×10-5

1.75×10-5

1.35×10-5

规格尺寸/mm

平面靶

≤1500×500

≤1500×500

≤1500×500

旋转靶

热等静压整体成形

Integral formingby HIP

热等静压整体成形

热等静压整体成形

TiAl (20:80at%)

成分(elements)

钛(Ti)

镁(Mg)

氯（Cl）

30.67

69.01

0.075

0.085

0.03

0.013

0.095

3.08

TiAl (30:70at%)

测   试 值（wt%)      （Test values）

43.1

56.4

0.066

0.008

0.016

3.24

TiAl (33:67at%)

46.3

53.2

3.29

TiAl (40:60at%)

54.2

45.5

3.39

TiAl (50:50at%)

63.7

35.9

3.61

TiAl (60:40at%)

72.49

27.13

3.79

TiAl (70:30at%)

80.27

19.35

3.96

我司默认钛铝系列合金靶材包括：

Ti10% Al90%; Ti20% Al80%; Ti25% Al75%; Ti30%Al70%;

Ti33% Al67%; Ti50% Al50%; Ti67% Al33%.

其中高铝含量的 Ti30%Al70%;Ti33%Al67%;Ti50%Al50%等，其它配比可根据您的要求定制。