氮化硼坩埚
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热解氮化硼坩埚(PBN坩埚)
我们可以提供的热解氮化硼（PBN）产品有应用于砷化镓（GaAs）单晶的MBE坩埚、LEC坩埚、VGF坩埚、MOCVD设备用绝缘隔热板、合成用舟皿及热解氮化硼涂层产品等。
我们可以提供的热解氮化硼产品如下：
Ø 半导体单晶及III－V族化合物合成用的坩埚、基座
Ø 原位合成GaAs、InP、GaP单晶的LEC系列坩埚。
Ø 分子束外延用的MBE系列坩埚。
Ø VGF、VB法系列坩埚。
Ø PBN/PG复合加热器涂层。
Ø 石墨加热器绝缘涂层。
Ø 高温绝缘流体喷嘴。
Ø MOCVD绝缘板。
Ø 异形坩埚及异形石墨件涂层。
Ø 晶片退火工艺用复合加热器
类 型
类 别
Zui 大 尺 寸
坩埚类
LEC
14 inch
VGF
6 inch
MBE
4 inch
舟形坩埚
3 inch
板材类
圆形板材
14 inch
绝缘板(MOCVD)
■主要参数:
性能
单位
数值
晶格常数
µm
a:2.504×10-10
c:6.692×10-10
表观密度
g/cm3
2.07－2.19(板材)
2.09－2.19(坩锅)
氦透过率
cm3/s
1×10－10
显微硬度(Knoop)(ab平面)
N/mm2
691.88
体积电阻系数
Ω·cm
3.11×1011
抗张强度 (力||“C”)
153.86
抗弯强度
N/mm2
243.63
N/mm2
197.76
弹性模量
N/mm2
235690
热传导率
W/m·k
“a”方向“c”方向
(200℃)
W/m·k
60 2.60
(900℃)
W/m·k
43.70 2.80
介电强度(室温)
KV/mm
56