由于半导体生产常常需要使用各种化学气体，这些气体也会随着工艺的过程，由真空泵从反应腔体抽出，形成各种有毒有害的工艺尾气，这些气体如直接排到大气中就会形成大气污染。所以半导体生产厂家都需要对工艺设备尾气进行有效的处理，以减少对环境的污染。因此，在半导体制造机台中，尾气处理装置是半导体加工中的常用工具。在等离子体干法刻蚀过程中，气体供给口提供的气体主要由Cl2、CF4、SF6、O2、He、BCl3等，经过在真空反应室内的一系列反应后，气体排出口排出的尾气主要包括TiClx、AlClx、MoClx、MoFx、SiO2。由于上述尾气极易在室温下结晶，因此尾气处理过程中结晶体会附着在排气管的管壁上，极易对排气管进行堵塞，同时造成排气管的损伤。此过程会造成尾气处理不彻底，同时提高生产成本。加装昌利电加热夹克后可以使管路处于恒温状态，管路堵塞情况迎刃而解，降低生产成本的同时也有效的保护
好排气管路。降低了维修成本也减少了安全风险。
| 成立日期 | 2020年07月15日 | ||
| 法定代表人 | 李启煌 | ||
| 注册资本 | 200 | ||
| 登记机关 | 长沙县市场监督管理局 | ||
| 主营产品 | 可拆卸保温套、隔热套、电加热套 | ||
| 经营范围 | 新材料技术推广服务；新材料技术开发服务、咨询、交流服务；水污染治理；大气污染治理；环保设备、室内加热器的生产；新材料、新设备、节能及环保产品工程的设计、施工；纺织品、针织品及原料批发；耐火陶瓷制品及其他耐火材料、隔热和隔音材料、锅炉辅助设备、输配电及控制设备、玻璃纤维及制品、新能源汽车零配件、非织造布、建筑材料的制造；防火卷帘门的制造、销售；特种防护制服、耐火材料、建筑材料、新型耐磨及防腐工程材料、电力设备、锅炉、通用机械设备、室内加热器的销售；五金产品零售；新材料、新设备、节能及环保产品的安装；室内加热器的研发。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动） | ||
| 公司简介 | 长沙昌利新材料有限公司是一家以定制为性质的企业。专业定制各种工业设备、管道、阀门、换热器、反应釜、烧瓶、罐体、排烟管、消声器、涡轮增压器、生物医药、船舶、发电机组、石油化工、火电核电、军工航天设备、注塑机、造粒机、挤塑机、吹塑机、模具、环保设备、催化燃烧设备、食品生产设备、冶金、炉窑等设备设施可拆卸柔性保温套、隔热套、电加热套。各种异形设备设施都能为您量身定制。专业的设计和生产团队。售后无忧！只要 ... | ||
