由于半导体生产常常需要使用各种化学气体,这些气体也会随着工艺的过程,由真空泵从反应腔体抽出,形成各种有毒有害的工艺尾气,这些气体如直接排到大气中就会形成大气污染。半导体生产厂家都需要对工艺设备尾气进行有效的处理,以减少对环境的污染。在半导体制造机台中,尾气处理装置是半导体加工中的常用工具。在等离子体干法刻蚀过程中,气体供给口提供的气体主要由Cl2、CF4、SF6、O2、He、BCl3等,经过在真空反应室内的一系列反应后,气体排出口排出的尾气主要包括TiClx、AlClx、MoClx、MoFx、SiO2。由于上述尾气极易在室温下结晶,尾气处理过程中结晶体会附着在排气管的管壁上,极易对排气管进行堵塞,造成排气管的损伤。此过程会造成尾气处理不彻底,提高生产成本。加装昌利电加热夹克后可以使管路处于恒温状态,管路堵塞情况迎刃而解,降低生产成本的也有效的保护
好排气管路。降低了维修成本也减少了安全风险。