半导体洁净室管道加热夹克光伏企业洁净室管道加热包法兰保温套

为什么工作温度多设定为120℃左右？

Display(面板) ETCH部门,以IPS和INVENIA设备为例，常规设备工艺废气凝固点是80℃~120℃，一般将工作温度设定为120℃。

特例半导体行业PVD工艺需170℃(管路 O-ring需耐高温全氟产品)，如武汉某厂使用180℃，因Pumpingline弯头较多，管道尺寸多数为4寸-6寸;再如无锡某外资12”FAB使用150℃，此公司Pumpingline以6寸为主，且单管弯头较少，稍低温度不易堵塞。

加热夹套系统是否均带UPS电源？是否可以停电？停电有何风险？

无必须配备UPS电源必要；如发生停电，停电后加热系统停止工作，管内介质会加速结晶，短时间（2-3天内）不至于引起堵塞宕机，有充足的维修缓冲时间。

如何防止超温持续加热问题发生？假设发生有和风险？

采用加热设定和温感反馈双重温控，温度变化（低/高）、故障皆有报警；无持续升温案例发生。

排风系统是否需要安装加热夹套？

废气经Scrubber处理大部分易结晶物质，且排风系统管径相对较大，不易堵塞；出于成本考虑，排风系统一般不加装加热夹套。

加热夹套/加热带分别为什么材质？如何选型？

①加热夹套（Heating jacket)内外均为不燃材料，外层为耐高温特氟龙涂层布，一般用于Pumpingline（真空管路）。

②加热带为硅胶裹覆，外包阻燃橡塑保温棉，一般用于Gas line（特气管路）。

加热夹套（Heating jacket)如何维护保养，平时做哪些点检？是否有寿命周期？

①因加热夹克安装后的工作装为静态，不需特殊维护保养，只需进行每日工作温度点检即可。监控报警或点检中发现部分单元故障，可更换备品，产品设计便于拆装，更换简单。

②寿命：≥5年

真空管加热夹套和特气管加热带有什么区别？

真空管加热夹套属于高温加热，工作温度120℃；特气管道加热属于低温伴热带，如BCL3加热温度35℃。