高纯NiV镍钒合金磁控溅射平面靶材 镍钒靶材 NiV靶材
更新:2022-02-09 09:27 编号:10964673 发布IP:113.246.218.228 浏览:230次- 发布企业
- 长沙鑫康新材料有限公司商铺
- 认证
- 资质核验:已通过营业执照认证入驻顺企:第5年主体名称:长沙鑫康新材料有限公司组织机构代码:91430121395343680P
- 报价
- 人民币¥700.00元每kg
- 所在地
- 湖南省长沙县榔梨街道新建路1301001
- 联系电话
- 19118893713
- 手机
- 19118893713
- 联系人
- 邹硕华 请说明来自顺企网,优惠更多
详细介绍
镍钒合金靶材,在集成电路制作中一般用纯金做表面导电层,但金与硅晶园容易生成AuSi低熔点化合物,导致金与硅界面粘接不牢固,人们提出了在金和硅晶圆的表面增加一粘接层,常用纯镍做粘接层,但镍层和金导电层之间也会形成扩散,需要再有一阻挡层,来防止金导电层和镍粘接层之间的扩散。阻挡层需要采用熔点高的金属,还要承受较大的电流密度,高纯金属钒能满足该要求。在集成电路制作中会用到镍溅射靶材、钒溅射靶材、金溅射靶材等。镍钒溅射靶材是在制备镍钒合金靶材过程中,在镍熔体中加入钒,使制备出的合金更有利于磁控溅射,结合了镍溅射靶材和钒溅射靶材的优点,可一次完成溅射镍层(粘接层)和钒层(阻挡层)。镍钒合金无磁性,有利于磁控溅射,在电子及信息产业中,正在逐步替代纯镍溅射靶材。下图是镍钒(93/7wt%) 合金溅射靶材的显微金相检测图片,平均粒径<100μm。
成立日期 | 2014年08月08日 | ||
法定代表人 | 邹硕华 | ||
注册资本 | 112 | ||
主营产品 | 溅射镀膜靶材、镍、钒、铜、钛、铬、铁、钴、铝、锡等金属靶材及其合金靶材的生产加工,陶瓷靶材、蒸发颗粒的生产加工 | ||
经营范围 | 国家法律法规政策允许的有色金属材料的研发及销售;陶瓷制品、机械设备的研发、生产(凭许可证、审批文件经营)及销售;纳米科技产品的技术研发、推广;从事货物和技术进出口业务(国家法律法规规定应经审批方可经营或禁止进出口的货物和技术除外)。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动) | ||
公司简介 | 长沙鑫康新材料有限公司成立于2014年,由中南大学材料科学工程学院材料科学专业的几位博士、硕士等科研人员一手创建,是集金属及氧化物镀膜材料研发、生产、销售于一体的具有自主知识产权的高新技术企业。公司产品涵盖四大系列,包括金属靶材,合金靶材,陶瓷靶材,蒸发材料等。主要靶材产品有钛靶材、钒靶材、铁靶材、铜靶材、铝靶材、铬靶材、镍靶材、镍铬合金靶材、镍铁合金靶材、镍钒合金靶材、镍铜合金靶材等溅射靶材。产 ... |
公司新闻
- 在磁控溅射靶材镀膜过程中,影响靶材镀膜沉积速率的3个因素磁控溅射是一种物理气相沉积方法,它可以通过使用施加到二极管溅射靶上的特殊形成的磁... 2022-02-09