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一、电机上电，机械振荡(加/减速时)引发此类故障的常见原因有:
①脉冲编码器出现故障。此时应检查伺服系统是否稳定，电路板维修检测电流是否稳定，速度检测单元反馈线端子是否在某几点电压下降，如有下降表明脉冲编码器不良，更换编码器;
②脉冲编码器十字联轴节可能损坏，导致轴转速与检测到的速度不同步，更换联测速发电机出现故障。修复，更换测速机维修实践中，测速机电刷磨损、卡阻故障较多，此时应拆下测速机的电刷，用纲砂纸打磨几下,清扫换垢，再重新装好.
二、电机上电，机械运动异常快速(飞车)出现这种伺服整机系统故障，应在检査位置控制单元和速度控制单元的还应检查:
①脉冲编码器接线是否错误;
②脉冲编码器联轴节是否损坏;速发电机端子是否接反和励磁信号线是否接错。一般这类现象应由电路板维修技术人员处理，否则可能会造成更严重的后果。
三、主轴不能定向移动或定向移动不到位出现这种伺服整机系统故障，应在检査定向控制电路的设置调整、检査定向板、主轴控制印刷电路板调整的还应检査位置检测器(编码器)的输出波正常来判断编码器的好坏(应注意在设备正常时测录编码器的正常输出波形，以便故障时査对)。
四、坐标轴进给时振动应检查电机线圈、机械进给丝杠同电机的连接、伺服系统、脉冲编码器、联轴节、测速机。
